ヘレウス株式会社［材料関連/スパッタリングターゲット/電子デバイス用ターゲット］


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	集積回路、ディスクリート素子向けの各種ターゲットをご提供致します。半導体向け高純度ターゲットも各種取り揃えております。

	・集積回路ディスクリート、受動素子、オプトエレクトロニクス Al, Ti, Cr, Ni, Ni-alloys, CrSi, Pt, Ag, Au, AuGe, Ru, Hf, TaAl, AuSi,Si,OsRu,GeS₂,CrNiAl,CuNi,Mo,W,Pd,Rh,NiAl,NiCr ・半導体前工程用 Al, Al(SiCu), Ti, Ta, WTi, PtNi, Ir, Ru,Mo,Si,Al ₂O₃ ・半導体後工程用 Cr, Ti, Ni, NiV, Cu, CuCr, Au, Ag, Pt, WTi, AuGe, AuAs, AuSn, AuSb,AuSi,Co